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產(chǎn)品名稱：

TOC超純水 超純水設(shè)備
發(fā)布時(shí)間： 2025/8/29 有效時(shí)間： 2026/2/28

詳細(xì)介紹

TOC超純水

微電子行業(yè)制備超純水流程中，因紫外線技術(shù)在超純水高品質(zhì)要求中不引入新的物質(zhì)，而得到廣泛應(yīng)用。

有機(jī)物是超純水系統(tǒng)中最難控制的污染，隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰(zhàn)，對(duì)超純水中TOC值的要求越來越高，因此，如何配置紫外線，如何確認(rèn)配置中紫外線設(shè)備的有效紫外劑量，進(jìn)而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯將為您解決這些運(yùn)營困擾。

185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC，使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級(jí)水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

超純水可以在以下領(lǐng)域使用：
（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領(lǐng)域。
（2）化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等。
（3）單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝。
（4）高壓變電器的清洗等


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TOC超純水

產(chǎn)品規(guī)格：

處理水量

2~60m3/h

燈管配置

12~48支

燈管類型

85w/155w(185/254nm雙波段)

石英套管

T＞80%@185nm

鎮(zhèn)流器

50~100%輸出功率可調(diào)

反應(yīng)器材質(zhì)

316L

潔凈等級(jí)

內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2）

法蘭尺寸

DN50~DN200

額定壓力

PN10

控制柜等級(jí)

IP55，碳鋼噴塑

控制系統(tǒng)

本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng)

UV強(qiáng)度傳感器

分辨率0.01mw/cm2







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